L'umidità hè una cundizione cumuna di cuntrollu ambientale in u funziunamentu di e camere bianche. U valore obiettivu di l'umidità relativa in a camera bianche di semiconduttori hè cuntrullatu per esse in l'intervallu di 30 à 50%, chì permette à l'errore di esse in un intervallu strettu di ± 1%, cum'è una zona fotolitografica - o ancu più chjucu in a zona di trasfurmazione ultravioletta luntana (DUV). - In altri lochi, pudete rilassatevi finu à ± 5%.
Perchè l'umidità relativa hà una quantità di fattori chì ponu cuntribuisce à u rendiment generale di a stanza bianca, cumpresi:
● crescita batterica;
● A gamma di cunfortu chì u persunale sente à temperatura ambiente;
● Apparisce una carica statica;
● currusione di i metalli;
● Cundensazione di vapore acqueo;
● degradazione di a litografia;
● Assorbimentu d'acqua.
I batteri è altri contaminanti biologichi (muffa, virus, funghi, acari) ponu multiplicassi attivamente in ambienti cù una umidità relativa superiore à u 60%. Certe flora ponu cresce quandu l'umidità relativa supera u 30%. Quandu l'umidità relativa hè trà u 40% è u 60%, l'effetti di i batteri è di l'infezioni respiratorie ponu esse minimizzati.
L'umidità relativa trà 40% è 60% hè ancu un intervallu mudestu in u quale l'omu si sente cunfortu. L'umidità eccessiva pò fà chì e persone si sentinu depresse, mentre chì l'umidità sottu à 30% pò fà chì e persone si sentinu secche, screpolate, cun disagiu respiratoriu è cun disagiu emotivu.
L'umidità elevata riduce in realtà l'accumulazione di carica statica nantu à a superficia di a stanza bianca - questu hè u risultatu desideratu. Una umidità più bassa hè più adatta per l'accumulazione di carica è una fonte potenzialmente dannosa di scarica elettrostatica. Quandu l'umidità relativa supera u 50%, a carica statica cumencia à dissipà si rapidamente, ma quandu l'umidità relativa hè inferiore à u 30%, ponu persiste per un bellu pezzu nantu à l'isolante o a superficia senza messa à terra.
L'umidità relativa trà 35% è 40% pò esse un compromessu soddisfacente, è e camere bianche di semiconduttori utilizanu tipicamente cuntrolli supplementari per limità l'accumulazione di carica statica.
A velocità di parechje reazzioni chimiche, cumpresu u prucessu di currusione, aumenterà cù l'aumentu di l'umidità relativa. Tutte e superfici esposte à l'aria chì circunda a stanza bianca sò rapidamente cuperte cù almenu un monostratu d'acqua. Quandu queste superfici sò cumposte da un rivestimentu metallicu finu chì pò reagisce cù l'acqua, l'alta umidità pò accelerà a reazione. Fortunatamente, certi metalli, cum'è l'aluminiu, ponu furmà un ossidu protettivu cù l'acqua è impedisce ulteriori reazzioni d'ossidazione; ma un altru casu, cum'è l'ossidu di rame, ùn hè micca protettivu, dunque in ambienti cù alta umidità, e superfici di rame sò più suscettibili à a currusione.
Inoltre, in un ambiente cù alta umidità relativa, a fotoresist hè espansa è aggravata dopu à u ciclu di cottura per via di l'assorbimentu di l'umidità. L'adesione di a fotoresist pò ancu esse influenzata negativamente da una umidità relativa più alta; una umidità relativa più bassa (circa 30%) facilita l'adesione di a fotoresist, ancu senza a necessità di un modificatore polimericu.
U cuntrollu di l'umidità relativa in una stanza bianca di semiconduttori ùn hè micca arbitrariu. Tuttavia, cù u cambiamentu di u tempu, hè megliu rivedere e ragioni è i fundamenti di e pratiche cumuni è generalmente accettate.
L'umidità ùn pò micca esse particularmente perceptibile per u nostru cunfortu umanu, ma spessu hà un grande impattu nantu à u prucessu di pruduzzione, in particulare induve l'umidità hè alta, è l'umidità hè spessu u peghju cuntrollu, per quessa in u cuntrollu di a temperatura è di l'umidità di a stanza bianca, l'umidità hè preferita.
Data di publicazione: 01 settembre 2020